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2023-5-31  
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洁净室的气流组织

洁净室合理的气流组织方案是减弱开门时污染物侵入的辅助手段之一。通常在靠近低级别洁净室一侧的门口设置一些回风口,输液泵标准,以形成部分洁净室气流流向门一侧运动的趋势,与洁净室在关门状态下正压外溢气流汇成一股向门内侧运动的气流流型。一旦门开敞后,侵入的污染物向洁净室进深扩散的范围将会明显缩小。了解开门时污染侵入的风险,使一些洁净室的关键工序或污染敏感工艺与门保持合理的距离,也是---措施之一。



洁净室检测压差的测试

1应在所有的门都关闭的条件下,由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始,依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室区,其洞口处宜有合理的气流流向等等。

2在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,输液泵公司,一直检测到直通室外的房间。

4所测量记录的数据应到 1.0pa。

1先关闭所有的门。

3记录所有数据。

1不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室区之间的静压差,应不小于5pa。

3对于空气洁净度等级严于 5 级100 级的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。



洁净室检测仪器的选用

尽管对净化车间内的洁净度的测量,可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但目前用得的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量,输液泵,并且可以直接显示瞬时的含尘浓度,也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量,使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。



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